Edwards真空泵授权代理商 托理拆利真空泵销售与维修 爱德华真空泵节能改造详细介绍

深圳市托理拆利机电设备有限公司是英国Edwards爱德华真空泵授权代理商，为客户24小时提供技术支持及售后服务，针对各个行业工艺端设计提供适合的负压真空系统解决方案，为电子、半导体工业、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型 挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域提供优化的真空解决方案。技术服务：138,237,883,80  

英国Edwards爱德华真空泵iH、iXH、iXL、EPX、GX系列半导体真空泵节能改造方案

需求背景：半导体真空泵应用

真空方案节能改造：

深圳市托理拆利机电设备有限公司真空方案改造，半导体真空泵应用方案节能可达50%；

1、一台EDWARDS爱德华真空机组可替换多台泵组，为可客户减少能耗、集中抽真空方便管理；

2、EDWARDS爱德华真空泵拥有VSD和设***控制功能，而常规的真空泵是不具备这样的功能的，可根据实际所需真空水平或速 度，提供需求的真空气量，避免造成浪费；

3、EDWARDS爱德华真空泵是真空领域的节能减排真空系统，节能可达50%，深受用户好评。

EDWARDS爱德华半导体真空泵以干式泵为主，推出iH、iXH、iXL、EPX、GX系列，分别适用于清洁、半严苛和严苛制程，能够满足半导体***工艺要求。

EDWARDS爱德华真空机组应用领域： 分析仪器、化工、食品加工、发电解决方案、半导体、平板显示、可再生能源（太阳能、LED照明、储能等） 刷包装、家具木材等行业。

真空泵于半导体设备意义重大：半导体器件不同材料层之间混入气体分子会破坏器件的电学或光学性能,故而真空系统对芯片的性能和良率起决定性作用。

半导体真空泵应用：晶圆制造过程中的单晶拉晶、LoadLock、刻蚀、CVD、ALD、封裝、测试等清洁或严苛制程。

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